功能特點 |
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可程式設計精密控溫。可獨立控制,也可從上位機軟體控制 |
低的盤面溫度梯度 |
軟體可拓展性強,可提供LabView等語言的SDK |
#升級項# 性能可升,詳見 配置清單 |
#選擇項# 是否帶有上蓋。上蓋功能如下: 可變樣品腔高度 可拆卸的觀察窗 用於負溫時的除霜設計 向腔室內充入氣氛 |
可做改動或定制,詳詢上海恒商 |
技術參數 | ||
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溫 控 性 能 | 溫度範圍 | -120℃ ~ 310℃ 負溫需使用液氮製冷 可提升溫度上限 |
溫度解析度 | 0.001℃ | |
溫度穩定性 | ±0.05℃(at 100℃) 可增加穩定性 | |
溫度均勻度 | ±0.1℃/cm可升均勻性 | |
控溫速度 | ±0.1℃/小時 | |
加熱速度 | +50℃/分鐘(at 100℃) | |
製冷速度 | -50℃/分鐘(at 100℃) | |
溫度感測器 | 100Ω鉑質RTD | |
溫控方式 | 開關式PID 可升為LVDC式PID | |
尺寸 | 樣品腔面積 | 48 mm x 60 mm |
樣品觀察範圍 | 26.5 mm(使用外蓋) | |
*注:液氮泵型號不同,製冷表現也會有差異,請悉知 |
配置清單 | ||
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標 准 | HCC302 溫控晶圓夾盤 | √ |
mK2000溫度控制器 軟體免費,控制線有多種接口供選 | √ | |
升 級 | 溫度 從 600℃ 升為 更高 |
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選 配 件 | 上蓋 | |
液氮製冷系統 包含液氮泵與液氮罐,使樣品降到負溫 |
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外殼水冷配件 用常溫水或冰水迴圈防止外殼過熱 | ||
固定支架 把夾盤固定在使用平臺上,防止滑動 | ||
溫控聯動顯微鏡相機 溫度-圖像聯動工作,附軟體 | ||
線性可變直流電源(LVDC) 裝在溫控器裡,抑制電噪音 | ||
*注:產品有多種配置變化,詳詢上海恒商 | ||