產品簡介 |
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可編程精密控溫。可獨立控制，也可從可以直接發出操控命令的電腦的軟件控制 |
小尺寸型號 |
可做改動或定制，詳詢上海恒商 |
功能特點 | |
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加熱塊材質 | 銀質 |
晶圓真空吸附 | 獨立真空吸附通道 可定制真空吸附孔 |
底殼制冷 | 可選制冷系統 |
安裝 | 可集成進探針臺 可定制安裝支架 |
臺面電位 | 接地 |
溫度控制 | 可編程精密PID溫控 需mK2000溫控器 可選LVDC（變直流）式低噪PID溫控 |
溫度傳感器 | 100Ω鉑質RTD |
溫度分辨率 | 0.01℃ |
溫度穩定性 | ±0.05℃（>25℃）；±0.1℃（＜25℃） |
電源規格 | 通用電源輸入 |
軟件 | WinTemp (溫控+記錄溫度曲線) |
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