技術規格 | |||
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| LN2-P2 | LN2-P4 | LN2-P8 |
冷熱臺 | |||
HCS302 / 302G / 402 | -100℃ | -190℃ | -190℃ |
HCS321Gi | -60℃ | -80℃ | -190℃ |
HCS621G / 421V | -160℃ | -190℃ | -190℃ |
HCS622G / 422V | -100℃ | -190℃ | -190℃ |
FS1 | NA | -60℃ | -190℃ |
CLM77K / CLM77Ki | NA | -190℃ | -190℃ |
晶圓夾盤&冷熱平板 | |||
10mm 正方形或圓形 | -40℃ | -60℃ | -120℃ |
150mm正方形或圓形 | -20℃ | -40℃ | -100℃ |
200mm正方形或圓形 | NA | -30℃ | -80℃ |
300mm正方形或圓形 | NA | -20℃ | -60℃ |
HCC602正方形或圓形 | -120℃ | -170℃ | -190℃ |
*可做定制或改動，詳詢上海恒商 | |||
功能特點 |
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液氮系統可將樣品冷卻至-190°C取決於泵功率和熱塊尺寸 |
系統包括一臺泵、一個杜瓦瓶、一個帶塞子的蓋子（用於在操作期間重新填充）和連接管 |
提供三種液氮泵輸出選項，LN2-P2、LN2-P4和LN2-P8，它們通過設備吸入液氮，並由mK2000控制 |
三種杜瓦瓶尺寸，2L、10L和30L，帶有易於再填充的蓋子選項，以控制儀器的液氮供應 |
與mK2000 PID控制器集成±0.1%分辨率 |
*可做定制或改動，詳詢上海恒商 |
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