典型應用操作 |
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使用真空閥門箱進行“先抽真空再充氣氛”的應用。 Step1. 為熱台抽真空。保持閥門V1、V2的關閉，打開閥門V3，開始對熱台抽真空； Step2. 為熱台通氣氛。關閉閥門V3，而後打開閥門V2，開始為熱台通入氣氛； Step3. 排出廢氣。關閉閥門V2，而後打開閥門V1，為熱台排出廢氣。
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功能特點 |
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為Instec真空熱台的應用設計 |
可用於先真空再充氣氛的實驗應用 |
整體式真空閥門箱，精簡真空管道的佈置 |
真空度可達 10^(-3) mBar （0.1 Pa） |
附贈一個指標式真空計，便於閥門操作時瞭解真空度 |
產品參數 | |
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真空度 | 10^(-3) mBar （0.1 Pa） |
真空介面 | 寶塔介面 x5 KF16介面 x1 （連真空計） |
應用 | 1. 熱台腔體抽真空 2. 熱台腔體先抽真空再充氣氛 |
附贈 | 指針式真空計 |
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