产品详情

PSH綜合分析探針台

PSH綜合分析探針台

功能特點

 

結構穩定。且針座平臺可快速升降和微調,適合針卡測試

兼容高倍率金相顯微鏡,可微調移動

最大可用於12英寸以內樣品測試

同軸絲杠傳動結構,線性移動

大手柄驅動,操作舒適,無回程差設計

芯片內部線路/電極/PAD測試

LD/LED/PD的光強/波長測試

材料/器件的IV/CV特性測試

支持高達300 GHz高頻特性器件測試

 

型號與技術參數

 

型號

SH-6

SH-8

SH-12

外形

820mm*720mm*890mm

960mm*850mm*900mm

1300mm*920mm*920mm

重量

170公斤

230公斤

300公斤

電力需求

220VC,50~60Hz

樣品臺

尺寸

6英寸,可360度旋轉

8英寸,可360度旋轉

12英寸,可360度旋轉

行程

X-Y行程6*6英寸

X-Y行程8*8英寸

X-Y行程12英寸*12英寸

其他

移動精度:1um       樣品固定方式:真空吸附。       背電極測試功能:有,樣品臺電學獨立懸空

針座平臺

規格

U型平臺,最多可放置6個針座

U型平臺,最多可放置10個針座

U型平臺,最多可放置12個針座

行程&調節方式

平臺可以快速升降,行程      6mm,並帶自動鎖定功能;可以上下微調,行程25mm,升降精度1um

光學特性

顯微鏡移動

行程:X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸:50.8mm      移動精度:1um

切換鏡頭方式

顯微鏡快速傾仰30

放大倍數

20~4000X

鏡頭規格

目鏡:10X;物鏡:5X,10X,20X,50X,100X(選配)

CCD像素

50W(模擬)/200W(數字)/500W(數字)

點針規格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm

機械精度

10微米/2微米/0.7微米/0.1微米

漏電精度

10pA/100fA    (配置屏蔽箱時)

接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口

可選附件

卡盤快速拉出裝置

加熱臺

光強/波長測試選件

顯微鏡傾仰裝置(傾仰30度)

高低溫樣品臺

射頻測試附件

顯微鏡氣動升降裝置

屏蔽箱

有源探頭

激光微加工

轉接頭

低電流/電容測試

探針卡夾具

防震臺

兼容積分球測試選件

顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測 光強/波長測試接口部件

鍍金卡盤

光纖夾具耦合測試選件

液晶熱點偵測套裝

同軸叁軸卡盤

封裝器件夾具

高壓/大電流測試套裝

樣品臺快速升降,微調升降裝置選 件

PCB/封裝夾具測試選件

帶真空底座的活動Chuck

樣品臺旋轉微調選件

特殊定制

應用方向

晶圓測試,光電器件測試,PCB/封裝器件測試,射頻測試,高壓/大電流測試等

 

询价咨询