Janis ST-500系列探針站是一種高性能的研究儀器，旨在為矽片和器件提供價格合理的真空和低溫探測。經驗證的ST-500低溫恒溫器是這些探測站的平臺，包括低振動技術（最初設計用於高空間分辨率光學顯微鏡），以提供出色的樣品位置穩定性。世界各地的研究人員正利用這些系統在各種領域進行研究，包括MEMS、納米電子、超導、鐵電、材料科學和光學。有興趣看看Janis的其他客戶在他們的探測站方面取得了什麽成就？單擊此處查看他們的一些研究論文列表。點擊此處查看Janis探測站的演示，其中包括一些探測站客戶提供的應用程序和參考文件。
ST-500型探測站的主要特點：
低振動水平和位置漂移
溫度範圍從~3.5 K到475 K（可選：8 K到650 K）（取決於探頭）
與液氮或液氦一起工作（了解我們的循環氣體冷卻器，無需使用制冷劑）
氦氣消耗量小於1升/小時
可容納高達2英寸（51毫米）直徑的晶圓（可選：高達8英寸[203毫米]）
多達七個冷卻、易於互換、微操作的探針臂
從直流到67ghz的電測量
各種廉價的低頻探頭，易於更換
極低的三軸探頭臂泄漏電流，只有幾個fA
非接觸、非破壞性開爾文探針
多探針
帶有單模和多模光纖選項的光纖探針臂
通過樣品架進行傳輸測量的可選光接入
帶電纜和電線的附加電氣引線到樣品區
選配專用微型真空室，在真空條件下將樣品從手套箱轉移到探針站
所有單鏡系統組件的非常平滑的X-Y-Z行程級
可選活動卡盤
系統自定義選項
為你現有的“濕”探測站尋找一個無冷劑的選擇？可選的循環氣體冷卻器消除了“濕”系統中液氦的使用。了解更多。
Vibration level: | ± 25 nm | |
Positional drift: | ± 150 nm in 30 minutes | |
Vacuum environment: | Regular Vacuum (~10-5-10-6 mbar) | |
Temperature range: | ~3.5 K to 475 K (DC Probes) (650 K optional) | |
Cryogenic consumption: | Helium: less than 1 liter/hr; Nitrogen: less than 0.1 liter/hr | |
Temperature stability: | ± 50 mK | |
Cooling time (for standard 2" diameter sample mount): | ~30 min to 10 K, ~60 min to 5 K | |
Warming up time: | ~45 min with quick warming up option (~4 hours without) | |
Sample mounts: | Ground Chuck | |
Interchangeable Probe Arms: | DC/LF probes: DC to 20 MHz with following tips available: Fiber probes: | |
Optical top viewport access: | Standard 2.0" (51 mm) clear aperture | |
Monoscopes with LCD 19" monitor or USB camera and smooth travel stages | 7.1 zoom, 5 microns resolution (216X magnification) | |
Probe travel: | ST-500-1 | ST-500-2 |
X-axis: | 1" (25 mm) | 2" (51 mm) |
Y-axis: | 1" (25 mm) | 2" (51 mm) |
Z-axis: | 10 mm (18 mm optional) | 10 mm (18 mm optional) |
X-, Y-, Z-axes probe translation (incremental units of graduation): | 10 microns | 12.5 microns |
Probe translation resolution: X-, Y-, Z-axes: | 5 microns | 6.25 microns |
Janis ST-500系列探針站是一種高性能的研究儀器，旨在為矽片和器件提供價格合理的真空和低溫探測。經驗證的ST-500低溫恒溫器是這些探測站的平臺，包括低振動技術（最初設計用於高空間分辨率光學顯微鏡），以提供出色的樣品位置穩定性。世界各地的研究人員正利用這些系統在各種領域進行研究，包括MEMS、納米電子、超導、鐵電、材料科學和光學。有興趣看看Janis的其他客戶在他們的探測站方面取得了什麽成就？單擊此處查看他們的一些研究論文列表。點擊此處查看Janis探測站的演示，其中包括一些探測站客戶提供的應用程序和參考文件。
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從直流到67ghz的電測量
各種廉價的低頻探頭，易於更換
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多探針
帶有單模和多模光纖選項的光纖探針臂
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選配專用微型真空室，在真空條件下將樣品從手套箱轉移到探針站
所有單鏡系統組件的非常平滑的X-Y-Z行程級
可選活動卡盤
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為你現有的“濕”探測站尋找一個無冷劑的選擇？可選的循環氣體冷卻器消除了“濕”系統中液氦的使用。了解更多。
Janis ST-500系列探針站是一種高性能的研究儀器，旨在為矽片和器件提供價格合理的真空和低溫探測。經驗證的ST-500低溫恒溫器是這些探測站的平臺，包括低振動技術（最初設計用於高空間分辨率光學顯微鏡），以提供出色的樣品位置穩定性。世界各地的研究人員正利用這些系統在各種領域進行研究，包括MEMS、納米電子、超導、鐵電、材料科學和光學。有興趣看看Janis的其他客戶在他們的探測站方面取得了什麽成就？單擊此處查看他們的一些研究論文列表。點擊此處查看Janis探測站的演示，其中包括一些探測站客戶提供的應用程序和參考文件。
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低振動水平和位置漂移
溫度範圍從~3.5 K到475 K（可選：8 K到650 K）（取決於探頭）
與液氮或液氦一起工作（了解我們的循環氣體冷卻器，無需使用制冷劑）
氦氣消耗量小於1升/小時
可容納高達2英寸（51毫米）直徑的晶圓（可選：高達8英寸[203毫米]）
多達七個冷卻、易於互換、微操作的探針臂
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極低的三軸探頭臂泄漏電流，只有幾個fA
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