探針座都提供X-Y-Z直線運動行程，無齒隙，安裝選項包括磁鐵、真空或磁鐵開關底座

EB-050

精度：0.8µm

螺絲精度：212µm

行程範圍：線性12 mm X-Y-Z尺寸：52  mm W X 96 mm D X 76 mm H重量：550 g

用途：支持DC/RF

EB-700

精度：2µm

螺絲精度：630µm

行程範圍：線性12 mm  X-Y-Z尺寸：38 mm W X 62 mm D X 45 mm H重量：200 g

用途：僅DC

EB-005

精度：0.3µm

螺絲精度：125µm

行程範圍：線性12 mm X-Y-Z尺寸：90  mm W X 130 mm D X 90 mm H重量：1000 g

用途：支持DC/RF

C-6RF

射頻選件包括附加的U形卡盤以及用於接觸和校準基板，以及一個細旋轉旋鈕，以幫助將設備與探針對準。

VFT-3636

尺寸：36英寸（寬）x 36英寸（深）x 36英寸（高）

垂直固有頻率：1.5 Hz

隔離效率：@ 5 Hz 85％

水平固有頻率：1.2 Hz隔離效率：@ 5  Hz 91％

空氣需求量：80 psi

凈負載：200公斤

材質：鋼桌面

產品簡介

C系列是我們的入門款式探針臺,機構上可以符合基本量測需求。這為直流和射頻應用提供了可重復良好的測量。

功能特點

-同軸滑臺驅動的探針臺

    XY同軸載物臺低重心僅25mm厚

    用戶友好的一只手抓住兩個XY旋鈕

    快速移動25mm /轉 方便快速找到目標物

    精細定位10微米Die目標物

-卡盤上/下調整, 卡盤快速Z-移動：4毫米

-無間隙運動

-可安裝12個探針座

-蜂巢式抗震囊

應用

基礎IV/CV；射頻；光電學

配件

帶溫度控制器的熱卡盤

防震桌

屏蔽箱

規格參數

探針臺面積

580 mm 寬    x 460mm 深

探針臺高度

140 mm (到平臺)/700 mm (到顯微鏡)

探針臺重量

40kg

平臺材料

硬鉻電鍍鋼

平臺尺寸

250 mm U型缺口寬, 450mm 外部

平臺容量

12 DC 或 4    RF 4 DC

探針座安裝

磁性ON/OFF開關

真空開關的數量

3

卡盤材料

不銹鋼

卡盤臺類型

同軸（可選配大旋鈕高精度滑臺）

卡盤行程範圍

6” x 6”

卡盤快速精度

25mm/rev

卡盤精度

10 µm

卡盤旋轉粗調行程

360˚

卡盤 Z向移動

4mm 範圍

卡盤 Z 向精度

1 µm

同軸卡盤運動

斜面齒輪和齒條0.8mm間距

大旋鈕卡盤移動（選配）

高精度線性滑臺

卡盤大小

6” (150 mm)

卡盤平面度

3 µm

卡盤剛度

15 µm / 10 N @ 邊沿

卡盤真空槽

中心，1”, 3” ,5”（單獨控制）

卡盤偏置容量

可達到 1kV

卡盤隔離

2 GΩ

DUT 尺寸範圍

2 mm - 150 mm

顯微鏡變焦範圍

1x - 5x

顯微鏡目鏡

20x

顯微鏡放大範圍

20x-100x