可選型號 | |
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TP102SV-MPS | 溫度範圍 -30℃ ~ 160℃，樣品區,40mm*40mm |
HCP421SV-MPS | 溫度範圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區 28mm*30mm |
HCP402SV-MPS | 溫度範圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區 50mm*50mm |
HP1000SG-MPS | 溫度範圍 35℃ ~ 1000℃，樣品區 25mm*25mm,氣密腔室 |
定制型號 | 按客戶需求定制，適用≤300mm晶圓樣品 |
典型應用 |
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表征薄膜、二維材料、納米材料和分子/有機材料器件的電性能測試 |
需要加熱塊表面電接地、接同軸BNC接口、三同軸BNC接口的 |
需要鎢錸探針、鈹銅探針或其他材料的探針的 |
需要從外部對臺體內探針進行XYZ移動的 |
晶圓、半導體器件、集成電路、印刷電路板、光伏板、LCD/LED測試 |
測量IV和CV特性、擊穿電壓、漏電流、電阻、介電常數和二極管效率 |
功能特點 |
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mini型溫控探針臺，可集成到光學設備 |
可編程控溫，涵蓋-190℃~1000℃（具體由型號而定） |
適用 10 mm ~ 50 mm 晶圓和器件 |
可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用 |
獨立的四個探針，可從設備外部移動探針進行點針 |
可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK |
*可做定制或改動，詳詢上海恒商 |
溫控參數 | |
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溫度範圍 | -190℃~400℃（負溫需配液氮制冷） |
加熱塊材質 | 銀 |
傳感器/溫控方式 升溫速率 | 100Ω鉑RTD / PID控制（含LVDC降噪電源） ≤30℃/min（at 100℃） |
溫控速度 | ≥±0.01℃/min |
溫度分辨率 | 0.01℃ RTD傳感器 |
溫度穩定性 | ±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃） |
軟件功能 | 可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線 |
電學參數 | |
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探針 | 默認為錸鎢材質的彎針探針 |
探針座 | 可從外部XYZ移動的探針臂 粗調模式+微調模式， |
點針 | 從外部移動點針，每個探針座都可點到樣品區上任意位置 |
探針接口 | 默認為BNC接頭，可選三同軸接口 |
樣品臺面電位 | 默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口 |
光學參數 | |
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適用光路 | 反射光路 |
窗片 | 可拆卸與更替的窗片 |
物鏡工作距離 | ≥12 mm |
上蓋窗片觀察 | 窗片範圍φ50mm，≤視角±40° |
負溫下窗片除霜 | 吹氣除霜管路 |
結構參數 | |
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適用樣品 | 10 mm ~ 50 mm 直徑 （標準） |
樣品腔高 | 8 mm |
探針座 | 可從外部XYZ移動的探針臂 粗調模式+微調模式，XY粗調20mm XY微調行程10mm,Z微調 3mm |
氣氛控制 | 真空腔，也可充入保護氣體 |
外殼冷卻 | 可通循環水，以維持外殼溫度在常溫附近 |
臺體尺寸/重量 | 300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg |
配置列表 | |
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基本配置 | 真空型臺式探針臺、mK2000B溫控器 |
可選配件 | 安裝支架、液氮制冷系統、外殼循環水冷系統、顯微鏡頭、 真空系統、測試源表、三同軸BNC、臺面電懸空、樣品接電引線 |
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